BOE 溶液中での溶融石英ガラス微細構造のディープマルチレベルウェットエッチング | 青島ルミノソ・トレイルブレイザーグループ株式会社

Scientific Reports volume 13、記事番号: 5228 (2023) この記事を引用

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溶融石英ガラスは、その耐薬品性、光学的、電気的、機械的性能により、マイクロメカニカル、マイクロ流体、光学デバイスに最適な材料です。ウェットエッチングは、このようなマイクロデバイスを製造するための重要な方法です。エッチング液の非常に攻撃的な性質のため、保護マスクの完全性は大きな課題です。ここでは、階段状マスクを介した石英ガラスのディープエッチングに基づいたマルチレベル微細構造の製造ルートを提案します。まず、緩衝酸化物エッチング (BOE) 溶液における溶融シリカの溶解メカニズムを解析し、\({HF}_{2}^{-}\)、\({F}^{ -}\)、\({(HF)}_{2}\) を pH および NH4F:HF 比の関数として示します。次に、金属/フォトレジストマスクを介したディープエッチング中のマスク抵抗、エッチング速度、およびプロファイルの等方性に対するBOE組成(1:1〜14:1)の影響を実験的に調査します。最後に、最大 3 μm/min の速度で 200 μm を超える高品質のマルチレベルエッチングプロセスを実証します。これは、たわみサスペンション、慣性質量、マイクロチャネル、およびウェーハ貫通穴を備えた高度なマイクロデバイスにとって非常に興味深いものとなる可能性があります。

溶融シリカガラスウェーハは、その優れた機械的、電気的、光学的特性、熱的および化学的安定性、生体適合性により、慣性センサー 1、マイクロ流体システム 2、3、光センサー 4、5 などのマイクロデバイスで広く使用されています。これらのデバイスの構造要素には通常、厚さ 5 ～ 50 μm の屈曲膜 6,7、深さ 10 ～ 100 μm のマイクロチャネル 8,9、または基板の深さ全体の 150 ～ 1000 μm のスルーホール 10,11 が含まれています。さらに、マイクロデバイスは多くの場合、これらの要素をマルチレベルの微細構造に組み合わせます12。溶融ガラスマイクロデバイス要素の高品質な処理を保証することは、構造の光学的、レオロジー的、および機械的パラメータを決定するため、非常に重要です。主要なガラス微細加工技術には、3D プリンティング、機械的、熱的、化学的 (乾式および湿式) などがあります 13,14。化学的方法のみが滑らかな表面を確実に得ることができ、これはさまざまな光学的、機械的、マイクロ流体の用途にとって重要です。湿式法とは対照的に、シリコンの深部エッチングにはプラズマエッチングが適しています 15 が、溶融シリカの場合は、保護マスクに対する選択性が低いため、エッチング速度とエッチングの深さが制限されます 16。このため、ウェットエッチングプロセスは依然としてガラスマイクロデバイス製造の重要な方法となっています。これにより、等方性プロファイルと低い表面粗さを備えた深い微細構造を高いエッチング速度（数μm/分）でエッチングすることが可能になります17。ガラスの化学的不活性度が高いため、溶融シリカのエッチングは HF ベースの溶液で実行されます。通常、エッチング速度を安定させるためにフッ化水素酸溶液に緩衝添加剤が添加されますが、これは反応生成物の溶解による多成分ガラスのエッチングの場合に役立ちます18。ただし、保護マスクの安定性と反応性エッチャント中での完全性が制限要因になります (表 1)。

保護マスクの材質や特性、エッチング液の組成はエッチングの品質に影響を与える最も重要な要素です。フォトレジスト (AZ5214E、SPR220)、金属 (Au/Cr、Cr、Mo)、およびシリコンベース (a:Si、バルク-Si) 保護マスク (表 1) が最も一般的に使用されるソリューションです。製造プロセスの複雑さと溶融シリカ微細構造の必要な深さによって、さまざまなデバイスのマスク材料の選択が決まります。したがって、フォトレジストマスクはスピンコートが容易ですが、接着力が低く、HF 溶液に対する耐性が低いため、エッチング深さが数十マイクロメートルに制限されます19、20、21、22、23、24、25。 Si ベースのマスクはフッ酸溶液に対して高い耐性を持っています 4,37,38,39,40,41。ただし、低応力Siベースの層の製造は難しく（例：厚いa:Si層）、追加の技術ステップ（例：アルカリマスク除去、ホウケイ酸ガラスエッチングのためのSiプレートの陽極接合）が必要となる場合があります。 Cr/Au ベースのメタルマスクは、湿式ガラスエッチングで最も一般的に使用されます 4、7、23、29、30、31。クロムは金フィルムのガラスへの高い密着性を保証しますが、金は HF 溶液中で非常に不活性であるため、深い微細構造のエッチングが保証されます。ゴールドマスクはコストが高く、拡散能力が高いため、可能な用途は限られています。モリブデンやクロムなどの高融点金属は、ガラスの深部エッチングに使用されて成功しています26、27、28、34、35、36。ただし、これらの金属は高度な堆積プロセスを必要とする高応力層を形成する傾向があります。モリブデン膜の主な利点は、HF 酸中での低い溶解速度 (19 Å/min 近く) とガラス基板への高い接着力 42 に加え、金ベースのマスクと比較してコストが低いことです。

保護メタルマスクの物理的特性、基板と金属の界面、BOE 溶液の濃度は、ガラスエッチングの品質に直接影響します (図 1)。微小欠陥と金属膜の不連続性により、ガラス表面にピンホール欠陥が発生します (図 1a)。密着力が低いと、保護マスクのアンダーカットが発生し、横方向のエッチング速度が高くなります (図 1b)。マスク層内の高い応力は、微小亀裂の形成 (図 1c) や、エッチングされたエッジの粗さの増加 (図 1d) を引き起こします。反応エッチング生成物の含有量が高いと、エッチング表面の粗さが大幅に増加したり (図 1e)、さらには不規則なエッチングプロファイル (図 1f) が発生したりする可能性があります。高品質の溶融ガラスエッチングは、高いエッチング速度と完璧な表面品質、さらには高いエッチング等方性を特徴としています。エッチング溶液の最適化は、エッチング品質を向上させ、欠陥の形成を防ぎ、マスクの安定性を維持する効果的な方法の 1 つです。

BOE エッチングプロセス後に得られたガラス欠陥: (a) ガラス表面上のピンホールの光学画像および次の SEM 画像: (b) マスクのアンダーカット欠陥。 (c) ガラス基板の微小亀裂。 (d) 粗い構造エッジ。 (e) 高い表面粗さ。 (f) 不規則なエッチングプロファイル。

この研究では、1 ミクロンより厚いフォトレジスト層に基づく 2 ステップのフォトリソグラフィーの 1 つのプロセスだけで、階段状の保護フォトレジスト/メタルマスクを介した 200 μm を超える深さのウェットエッチングに基づくマルチレベル溶融シリカガラス微細構造の製造ルートについて報告します。深層ガラスエッチングプロセスのエッチングされた微細構造の品質とマスク耐性に対する BOE 溶液の濃度の影響に関する信頼できる情報があります。たとえば、わずか数マイクロメートルの深さの SiO2 エッチングプロファイル形状に対する BOE 溶液濃度の影響が参考文献 44 に記載されています。私たちの研究では、エッチング速度、深さ、等方性、マスクの安定性が BOE 溶液の組成に依存していることが明らかになりました。 BOE 濃度の変化により、pH や反応種の量が変化し、エッチングの品質に影響を与えます。提案されたエッチングプロセスは、マスクの安定性、高いエッチング速度、および等方性を保証し、最初の 1 回のフォトリソグラフィーステップで溶融ガラスのマルチレベルエッチングプロファイルを得ることができます。

溶融石英は、アモルファス状の純粋なシリカガラス (SiO2) です。 Si-O 結合は高い結合強度（810 kJ/mol 対 327 kJ/mol Si-Si 結合強度）を持つため、Si-O 結合の切断はエッチングプロセスの重要な側面です。一般に、SiO2 の溶解メカニズムは、表面プロトン化、求電子性シリコン原子の求核攻撃、Si-F 結合の形成という 3 つの反復段階によって説明されます (図 2)。 pH に応じて、溶液には 2 つの主な効果、いわゆる表面効果と濃度効果があります 45,46。まず、溶液中のフッ素含有成分間に化学平衡が確立されます。第二に、プロトンの付加またはプロトンの喪失により、ガラス表面に SiOH2+、SiOH、または SiO- 基が形成されます。 3 つのグループのそれぞれの相対濃度は表面層の反応性を決定し、溶液の pH に依存します。 SiOH 基の数は、SiO2 等電点 pI の領域に多く存在します (SiO2 の pI 値は 2 から 4 まで変化します)47。等電点を下回ると、SiOH2+ 基の濃度が増加します。それを超えると、SiO- グループの濃度が増加します。中性 SiOH からの OH– 基の置換は、プロトン化された SiOH2+ 基からの H2O の除去よりも遅くなります 45。

HF ベースの溶液における SiO2 の溶解反応機構: (a-c) 異なる pH 値のエッチング溶液における表面シラノール基の平衡反応。 (d) 求電子性シリコン原子の求核攻撃。 (e – g) Si-F 結合の形成。

エッチングプロセスは、エッチング溶液の組成、成分の濃度、温度、溶液の混合強度にも影響されます。プロセス温度の上昇により、エッチング速度が増加し、エッチング中の BOE 溶液の結晶化の確率が低下します 48 が、エッチングの等方性が悪化する可能性があります 49。しかし、高濃度の HF 溶液はエッチング中に発煙し始め、プロセス温度が上昇すると蒸気の発生が増加します。これもオペレーターにとって強力な接触毒となります 50。プロセスは速度論的に制御されているため 46、溶液の混合は溶解速度にわずかな影響を与えますが、深刻なマスク損傷を引き起こす可能性があります 35。エッチング速度は、BOE 溶液中の HF 含有量が増加すると増加します。フッ化アンモニウムバッファー NH4F を HF に添加すると、フォトレジストマスクのエッチング耐性が向上し、エッチング速度の維持に役立ちます 19 が、NH4F 含有量に対するその依存性は非線形です。エッチング速度は、NH4F を一定濃度まで少量添加すると増加しますが、NH4F 濃度がさらに増加すると減少し始めます 51。したがって、エッチング速度は溶液中のエッチング粒子のパーセンテージに依存し、これは溶液の pH として説明できます。 NH4F/HF システムの pH は、(1) Henderson-Hasselbalch 式 52 に従って計算されます。

ここで、Ka は弱酸の解離定数、pKa = log Ka、[HA] と [A–] は弱酸とその共役塩基のモル濃度です。

BOE 溶液には (2) ～ (5) で記述される化合物が多数存在します: HF、\({F}^{-}\)、\({(HF)}_{2}\)、\({HF} _{2}^{-}\)、\({NH}_{4}^{+}\)、\({H}^{+}\)。高濃度の HF 溶液では、(HF)nF- のような HF ベースの錯体が形成されます 52。 \({HF}_{2}^{-}\) と \({(HF)}_{2}\) は HF 溶液中の反応種と \({HF}_{2 によるエッチング反応速度) です。 }^{-}\) は \({(HF)}_{2}\) よりも 2000 ～ 3000 倍高速です45,54。これは、種の結合角 (180° と 90°、それぞれ）45。 \({F}^{-}\) はエッチング反応に関与しないか、少なくとも \({F}^{-}\) によるエッチングは無視できるほどであることが示されています。参考文献55、56によると、BOE溶液中で起こる主な反応と反応の平衡定数は次のとおりです。

HF 解離定数、k1 = 6、9 × 10–4 mol/L。

NH4F 解離定数、k2 = 44、17 mol/L。

錯体形成 HF、kd1 = 4、0 L/mol。

HF二量体形成、kd2 = 2、7 L/mol。

さまざまな HF 濃度に対する BOE 溶液中の反応性種の割合の計算を記載した研究がいくつかあります 45、53、54、57 が、この研究で考慮されている BOE 濃度の必要な範囲を反映していません。エッチング液を表す場合、「BOE n:m」という略語を使用します。この略語は、NH4F 40 重量％ n 容量部と HF 49 重量％ m 容量部の混合比を指します。反応定数 (2) ～ (5) を使用して、BOE 溶液中の成分の相対含有量を n:m 比と溶液 pH から計算しました (図 3)。これらの依存性は、より複雑な粒子の形成が考慮されておらず、室温で計算されるため、定性的なものですが、エッチングプロセスを視覚的に理解することが可能になります。

pH および BOE n:m 比の関数として計算された BOE 溶液の主成分の割合。

一般的なケースでは、ガラスのエッチングは (6) に従って進行します。

反応は多段階であり、(7) および (8) に従って進行します。

\({HF}_{2}^{-}\) と \({(HF)}_{2}\) が BOE 溶液中の反応種であることを考慮すると、(7) は 2 つの経路 (9) に沿って進行する可能性があります。）および（10）。支配的な反応は、溶液中の各タイプの粒子の割合に依存し、さらに溶液中の初期試薬の濃度に依存します。

したがって、溶融シリカのエッチング速度は、BOE 溶液中の初期試薬の濃度に主に依存します。最大のエッチング速度は \({HF}_{2}^{-}\) の最大濃度に近い領域で発生すると仮定できます。

この研究では、厚さ 500 μm の 25 mm × 25 mm の溶融石英ガラス基板が使用されます。ウェーハは有機溶剤と過酸化硫黄溶液（ピラニア溶液）で洗浄されました。厚さ２００ｎｍのモリブデンからなる保護マスクを、ベース圧力３ｍＴｏｒｒでのマグネトロンスパッタリングによってガラスウェハの上部にスパッタリングする。厚さ 3 μm のポジ型ホロテジスト (SPR220) をウェーハ上にスピンコートし、標準的なフォトリソグラフィープロセスを使用してパターン化しました。 Mo の露出領域は、硝酸、酢酸、オルトリン酸溶液 (Al エッチャントタイプ A) でエッチング除去されました。その後の熱処理によりフォトレジスト層が強力に架橋され、エッチング液がマスクの奥深くまで浸透することが防止されます。

ガラスエッチング溶液は、フッ化水素酸 (HF 49%) とフッ化アンモニウム (NH4F 40%) を混合することによって新たに調製されます。ガラスエッチングの場合、体積比 (NH4F 対 HF) は 1 ～ 14 の範囲で変化します。緩衝酸化物エッチング液は、マスクと基板の界面への溶液の強力な浸透、ピンホールの形成を防ぎ、エッチング速度を安定させます。このプロセスは、エッチング速度を高め、溶液の結晶化を防ぐために、60 °C の温度に温度制御されたフッ素樹脂製タンク内で実行されます。さらに、幅 5 ～ 200 μm のテストライン構造を使用して、エッチングプロセスを評価します。エッチングプロセスは光学顕微鏡および走査型電子顕微鏡によって制御され、エッチングの深さとエッチング後の表面の品質が評価されました。

各エッチングプロセスの後、フォトレジストと金属マスクが除去され、サンプルが劈開されてテスト構造のエッチングプロファイルが評価されました。エッチング中にマスクの接着力が完全に失われたため、BOE 1:1 濃度について利用可能なデータはありません。 BOE 濃度が 2.5 より高い場合、マスクは 60 分間のエッチングプロセスに耐えました。図 4 は、さまざまな BOE 濃度と 60 分のエッチング時間で、幅 50 μm のエッチングされたテストラインの走査型電子顕微鏡 (SEM) 画像を示しています。

ウェットエッチングとマスク除去後の劈開された幅 50 μm のテスト構造の SEM 画像：（a）BOE 2.5:1 - 非等方性エッチング領域。 (b) BOE 3:1 および (c) BOE 4:1 - 等方性エッチング領域。 (d) BOE 7:1、(e) BOE 10:1、および (f) BOE 14:1 - エッチング領域をアンダーカットするマスク。

エッチングプロファイルの形状に関して区別できる 3 つの典型的な領域があります。それは、等方性エッチング、非等方性エッチング、およびマスクアンダーカット領域です。 BOE 3:1 未満の溶液でのエッチング (図 4a) は、不均一なエッチング底部と、垂直速度よりも高い横速度を特徴とする非等方性プロファイルを形成する傾向があります。 BOE 7:1 以上 (図 4c–e) では、粗さの高いマスクを通してアンダーカット欠陥が観察されました。これらの領域（図4b、c）の間には欠陥のないエッチングがあり、マスクのアンダーカットと等方性プロファイルがないことが特徴です。 BOE 3:1 および 4:1 は、滑らかで欠陥のない表面を提供します。 BOE 3:1 では、200 μm を超える最大エッチング深さが得られます。

エッチング等方性（エッチング深さ「H」に対する横方向アンダーカット「h」の比）と溶融シリカのエッチング速度のBOE溶液濃度（それぞれ赤と青の点）の依存性（図5）を示します。最大エッチング速度は、最大 \({HF}_{2}^{-}\) 濃度の BOE 3:1 に相当することがわかります。エッチングの等方性は単一から逸脱し、他のすべての濃度ではエッチング速度が低下します。これは、組成が変化するエッチング溶液内の化学反応によって発生します。たとえば、高い NH4F (BOE > 4:1) 濃度では、NH4F バッファー添加剤 (2) の解離反応による F- イオンと NH4+ イオンが支配的となり、エッチングプロセスに悪影響を及ぼします。 NH4+ イオンは \({HF}_{2}^{-}\) を不活性化し、難溶性の NH4HF2 結晶の錯体形成を引き起こします。さらに、NH4+ イオンは負に帯電した SiO2 表面を不動態化し、SiO2 への深い浸透をブロックしてエッチング反応を防ぎます。もう 1 つのマイナスの影響は、溶解度が限られているため、反応生成物の沈殿 (11、12) です。

溶融シリカエッチングプロファイルの等方性（赤い点）、エッチング速度（青い点）、および好ましい等方性（実線）のさまざまなエッチングされたテストライン幅のBOE濃度およびpH値への依存性。

溶液中の大量の NH4F (BOE > 4:1) は、不溶性反応生成物の堆積によるガラス表面の不動態化によりエッチング速度を低下させることがわかります。対照的に、HF 含有量が高い領域 (BOE < 3:1) は、マスク抵抗の低下と横方向のエッチング速度の増加によって特徴付けられます。一般に、エッチングされたテストラインの幅が減少すると、エッチング速度の低下が観察されます。狭いテストライン (5 μm) のエッチング速度は、広いテストライン (200 μm) のエッチング速度よりも 1.05 ～ 1.2 倍低くなります。これは、広い溝では、すべての試薬と反応生成物が、溶液が枯渇し始めるよりも早く除去されるという事実によって説明できます。

私たちは、段付きマスクを使用した、ウエハー貫通穴や溶融石英ガラスの膜を含む多層ガラス構造の製造ルートを提案します。厚さ 500 µm の溶融シリカ UV グレードウェーハ (Siegert ウェーハ) を使用し、120 °C のピラニア溶液 (H2SO4:H2O2) で洗浄しました。厚さ２００ｎｍのモリブデン保護マスク層を、ウェハの両面に３ｍＴｏｒｒのプロセス圧力でマグネトロンスパッタリングした。次に、アルゴン雰囲気中で 600 °C 以上の温度でポストサーマルアニーリングを行うことにより、金属の残留応力を軽減しました。ステップレジストマスクは、スピンコートされた厚さ5μmのMEGAPOSIT SPR-220–7.0フォトレジスト層（Micro register technology GmbH、ドイツ）の2ステップリソグラフィーを使用してガラスウェーハ上にパターン化されました（図6a）。露出領域では、保護モリブデン膜を硝酸、酢酸、オルトリン酸の混合液（Al エッチャントタイプ A、Transene company Inc.）中でモリブデン - アルミニウム互換エッチング溶液に従って室温でウェットエッチングしました。熱架橋により強化されたフォトレジスト層の機械的特性を向上させるために、ウェーハをウェットエッチングする前に 120 °C でのハードベークが実行されました。ガラスエッチングは、NH4F 40％（Sigma Aldrich Inc.）とHF 49％（Technic Inc.）から新たに調製した提案されたBOE 3：1溶液中で60℃で実行され、最初のエッチングレベルを形成しました（図6b）。さらに、フォトレジストの薄い層の酸素プラズマエッチングによって2層（レジスト-Mo）保護マスクを局所的に剥離し（図6c）、続いて開いたレジスト領域を通してモリブデンのウェットエッチングを行いました。同じ手順を使用した 2 番目のガラスエッチングステップにより、必要な微細構造の多層モールドが確実に形成されます (図 6d)。このプロセスは、公称厚さ100±5μmの微細構造の製造でテストされました（図6e）。光学式表面粗さ計を使用して、図6fに示す微細構造の表面粗さを測定しました（111μm×94μmの領域でSa = 2.5nm）。フォトリソグラフィーのステップの量を変えることにより、それに応じてエッチングのステップとレベルの数を増やすことができます。

マルチレベル溶融石英ガラス微細構造の製造ルート: (a) 2 ステップのフォトリソグラフィーによる階段状プロファイルのレジストパターニング。 (b) メタルマスクの窓を開け、エッチングの第 1 段階。（ｃ）第２段階のマスクを開く。 (d) 第 2 酸洗段階。（e）劈開膜微細構造のSEM画像（エッチング結果、×80）。 (f) 切断された膜表面の SEM 画像 (× 500)。

提案された溶融シリカガラスの処理方法とマルチレベル微細構造のパターニングは、膜（図 7a）、マイクロチャネル（図 7b）、およびウェーハ貫通穴を備えたマルチレベル微細構造（図 7c）を形成できる可能性を明確に示しています。これにより、溶融石英ガラスの主な利点、特にその熱膨張係数、光透過性、および複雑なマルチレベル要素とマルチウェーハアセンブリを備えたマイクロデバイスの製造に高い化学的不活性性を利用する道が開かれます。

溶融シリカのエッチングされた微細構造：（a）厚さ 60 μm の膜の光学画像（× 5）。 (b) マイクロチャネルの SEM 画像 (× 150)。 (c) ウェーハ貫通穴のある 2 レベルの微細構造 (カンチレバー状) の SEM 画像 (× 80)。

この研究では、2 ステップのフォトリソグラフィーによる段付きマスクを介した BOE 溶液でのディープウェットエッチングに基づく、欠陥のない多層溶融シリカガラス微細構造の製造ルートを提案しました。溶融石英ガラスは、臨界条件下でも安定した特性を備えているため、高品質係数 MEMS デバイスで広く使用されています。しかし、高品質のガラス加工は、さまざまな欠陥の形成に寄与する非常に反応性が高く危険なフッ化水素酸溶液中でも可能です。私たちは、反応と形成される生成物の観点からエッチングプロセスの理論的説明を報告しました。次に、\({HF}_{2}^{-}\)、\({F}^{-}\)、\({(HF)}_{2}\) などの主なフッ素成分の組成は次のようになります。石英ガラスのエッチング速度を推定するために、BOE 溶液濃度と pH 値の関数を計算しました。私たちの計算と実験に基づいて、BOE 濃度 (NH4F:HF 1:1 ～ 14:1) が金属/フォトレジストのマスク抵抗、エッチング速度、およびプロファイルの等方性を直接決定することを実証しました。 HF ベースの溶液中での溶解速度が遅く、ガラス基板への接着力が高いため、モリブデンの薄いマスクを保護層として使用しました。 BOE 濃度 3:1 (pH 3.75) で提供される滑らかな表面と最大エッチング速度による等方性エッチングを実証することで、分析的評価を実験結果で確認しました。これは、\({HF}_{2}^{-}\) コンテンツの計算された最大値に相当します。最後に、マルチレベルのマイクロ要素パターニング用の高耐性保護マスクに基づく製造ルートを示します。これには 3 つの主要なステップが含まれます。1 つのプロセスは 2 ステップのリソグラフィー、BOE 3:1 でのウェットエッチング、およびイオンプラズマフォトレジストの薄化です。このプロセスにより、たわみサスペンション、慣性質量、マイクロチャネル、およびウェーハ貫通穴を備えた高度な溶融シリカマイクロデバイスに対して、最大 3 μm/分の速度で高品質のマルチレベルの 200 μm を超える等方性エッチングを確実に達成できます。提案されたルートは最初のフォトリソグラフィーステップを 1 回だけ想定していることに注意してください。これは、非平面の事前パターン化された表面上にマスクを形成する必要がないため、高度なマイクロデバイスにとって非常に重要です。

現在の研究中に使用および/または分析されたデータセットは、合理的な要求に応じて責任著者から入手できます。

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技術は開発され、サンプルは BMSTU ナノ製造施設 (Functional Micro/Nanosystems、FMNS REC、ID 74300) で製造されました。

FMN Laboratory、バウマンモスクワ国立工科大学、モスクワ、105005、ロシア

TG コンスタンティノワ、MM アンドロニック、DA バクリコフ、VE スカロワ、DA エゼンコワ、EV ジキイ、MV バシノワ、AA ソロヴェフ、ES ロトコフ、IA リジコフ、IA ロディオノフ

Dukhov Automatics Research Institute、VNIIA、モスクワ、127030、ロシア

TG コンスタンティノワ、DA バクリコフ、DA エゼンコワ、EV ジキイ、ES ロトコフ、IA ロディオノフ

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TGK、MMA、IA Rodionov (IAR) がプロジェクトのアイデアを概念化しました。 TGK、MMA、VESは執筆原案を作成した。 TGK、MMA、DAB、MVB は実験サンプルを作製し、結果を議論しました。 MMA と VES は両面グレースケールフォトリソグラフィ技術を実行しました。 DAE および DAB は形態の特徴付けを実行しました。 EVZとESLはマスク蒸着プロセスを実行しました。 AASとDABはマスクドライエッチング処理を行いました。 TGK、MMA、IAR が原稿をレビューし、編集しました。 IAR と IARyzhikov がプロジェクトを監督しました。著者全員がデータを分析し、原稿の執筆に貢献しました。

IA・ロディオノフへの通信。

著者らは競合する利害関係を宣言していません。

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転載と許可

Konstantinova、TG、Andronic、MM、Baklykov、DA 他。 BOE 溶液中での溶融シリカガラス微細構造のディープマルチレベルウェットエッチング。 Sci Rep 13、5228 (2023)。 https://doi.org/10.1038/s41598-023-32503-w

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受信日: 2023 年 1 月 31 日

受理日: 2023 年 3 月 28 日

発行日: 2023 年 3 月 30 日

DOI: https://doi.org/10.1038/s41598-023-32503-w

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